| 阀门类型 | 总体漏率 | 正向漏率 | 反向漏率 |
| 电磁真空带充气阀 | △ | △ | |
| 电磁高真空档板阀 | △ | △ | |
| 电磁高真空充气阀 | △ | ||
| 高真空微调阀 | △ | △ | |
| 高真空隔膜阀 | △ | △ | |
| 高真空蝶阀 | △ | ||
| 高真空档板阀 | △ | △ | |
| 高真空插板阀 | △ | ||
| 真空调节阀 | △ | ||
| 真空球阀 | △ | △ | |
| 超高真空档板阀 | △ | △ | |
| 超高真空插板阀 | △ | ||
| 注:△——表示进行测试 | |||
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