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超高真空插板阀基本参数与连接尺寸_阀门标准
|
公称通径 DN |
漏率 Pa·L/s |
烘烤温度 ℃ |
平均无故障次数 次 |
流导 L/s |
连接尺寸 A mm |
连接法兰 标准 |
| 25 | ≤1.3×10-7 | ≤150（除传动装置外） | ≥3000 | 30 | 55 | GB/T 6071 |
| 50 | - | 60 | ||||
| 63 | 400 | 65 | ||||
| 80 | - | 65 | ||||
| 100 | 1100 | 70 | ||||
| 160 | 3400 | 70 | ||||
| 200 | 7300 | 80 | ||||
| 250 | ≥2000 | 12000 | 85 | JB/T 5278 | ||
| 320 | 21000 | - | ||||
| 400 | 30000 | 110 | ||||
| 500 | 51000 | - | ||||
| 630 | 10200 | - | ||||
| 800 | ≥1000 | - | - | |||
| 注：流导为分子流状态下的理论计算值，不做验收依据。 | ||||||
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